江西电网输配电价核定 助力电力市场交易的开展与推进

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为了充分发挥ZrO2-BTMST光刻胶的高灵敏度潜力，电网电价电力的开构建了基于多边形激光扫描仪的TPL机器，并实现了7.77ms–1的线性打印速度。典型代表：输配市场氧化锆（ZrO2）混合光刻胶，其灵敏度几乎比聚合物基光刻胶高两个数量级，并且一直保持着极紫外光刻领域的最高灵敏度记录。

最近，核定光刻领域再次面临13.5nm波长（极紫外线）的光源功率限制。为此，助力展浙江大学匡翠方教授、助力展清华大学何向明教授和徐宏教授等展示了一种极其灵敏的光刻胶系统，可以达到印刷速度7.77ms-1，比传统的聚合物光刻胶快三到五个数量级。利用高速打印技术在约33分钟内制作面积为1cm2的大尺寸方形光栅，推进优异打印速度将极大地促进TPL技术在微纳增材制造领域的实际大规模应用。

二、江西交易【成果掠影】纳米级精确增材制造技术目前依赖于双光子光刻，江西交易尽管这种方法可以实现纳米级结构，但对于大规模的实际应用来说，它的运行速度仍然太慢。然而，电网电价电力的开TPL的制造吞吐量有限，到目前为止，TPL成为一种打印速度慢且运营成本昂贵的实验室工具。

输配市场具有优异打印速度的高灵敏度光刻胶材料的设计将极大地促进TPL技术在微纳增材制造领域的实际大规模应用。

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